在LCD，LTPS，OLED，Flexible等面板制造中利用液体（药剂或纯水），通过 Cleaning / Etching / Stripping / Developing等工序形成Pattern，并制造最终成品的设备统称。
本公司产品
· Cleaner (适用于初期，Depo 前/后，Photo 前/后，PI前，ODF前等)
· Developer (TFT/CF用)
· Etcher (适用于各种Metal pattern)
· Stripper
· CF/CELL Rework
· Mask洗涤器 (FMM，WOLED)
优点
· 适用于精细Pattern工序的WET 工艺设备及洗涤技术
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